Nghiên cứu chế tạo sensor đo từ trường thấp dạng cầu Wheatstone dựa trên màng mỏng từ NiFe cấu trúc nano

Tóm tắt Nghiên cứu chế tạo sensor đo từ trường thấp dạng cầu Wheatstone dựa trên màng mỏng từ NiFe cấu trúc nano: ...sát tính chất của sensor dạng cầu Wheatstone 2.1 Các thiết bị máy móc và hóa chất 2.1.1 Máy quay phủ (Spin Coating) Khi thực hiện quá trình quay phủ photoresist, chúng tôi sử dụng máy quay phủ Suss MicroTec. 2.1.2 Hệ quang khắc Khi chế tạo sensor chúng tôi sử dụng máy quang khắc MJB4 ... tăng, vì với H=100Oe đã đủ lớn để từ hóa hoàn toàn các moment từ trong mạch cầu theo phương của từ trường ngoài. Đường đi và đường về của sensor không trùng khít nhau là do hiện tượng trễ từ - một tính chất đặc trưng của vật liệu NiFe. Trên thực tế, khi từ trường ngoài bằng 0, thì tín hiệu ra...o với màng. Hiệu điện thế ra của sensor khoảng 17mV, hiệu điện thế ra của màng khoảng 1mV, như vậy hiệu điện thế ra của sensor lớn gấp 17 lần của màng. Điều đó chứng tỏ khi giảm xuống kích thước nhỏ, vật liệu ít bị nhiễu hơn khi ở kích thước lớn. 3.1.5 Khảo sát đo góc với từ trường Trái đất ...