Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Tóm tắt Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS): ...ụ thể. Chính vì vậy cảm biến áp suất kiểu áp trở, nó đáp ứng phần nào về độ nhạy và khả năng đo áp suất trong phạm vi khá rộng. Cảm biến áp suất cụ thể đầu tiên được chế tạo vào năm 1960, sau đó nhiều nhà nghiên cứu trên thế giới đã tập trung nghiên cứu trong lĩnh vực này. Đặc biệt khi có sự .... Cuối cùng tìm hiểu các loại cảm biến áp suất khác nhau sử dụng công nghệ MEMS. Chương 2: Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất áp điện trở. Trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng cảm biến dùng phần mềm ANSYS dùng phương pháp phần tử hữu hạn. Xây dựng bài t...ọc và Kỹ Thuật. [5] Phan Hồ, Phan Quốc Phô (2001), Giáo trình vật lý bán dẫn, Nhà xuất bản khoa học kỹ thuật. [6] Nguyễn Hồng Sơn, Hoàng Đức Hải (2002), Kỹ thuật truyền số liệu, Nhà xuất bản Lao Động Xã Hội. Tiếng Anh [7] Chih-Tang Peng, Ji-Cheng Lin, Chun-Te Lin, Kuo-Ning Chiang, Analys...