Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN

Tóm tắt Nghiên cứu, thiết kế và mô phỏng bộ cảm biến vi lỏng có cấu trúc SAW đứng trên vật liệu AIN: ............................................................... 24 3.2 Design Principles ........................................................................................ 25 3.3 FEM Simulation for AlN-based Microfluidic Sensor ................................ 29 3.3.1 General Configuration..... 54 Reference ................................................................................................................. 56 Appendix: Material Parameters for Piezoelectric Substrate ............................. 59 A. Lithium Niobate ......................................................-based multilayer structures for sensor applications”, New Brunswisk, New Jersey, Doctoral thesis 2008. [12] Thu-Hang B., Tung B. D., Dat N. T. and Trinh C. D., “Attenuation Coefficient for Surface Acoustic Waves in Fluid Region”, VJM2012, Vol. 34, No. 4, pp. 225-236. [13] Gavignet E., Bal...