Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng - Lê Vũ Tuấn Hùng

QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ
VÀ ỨNG DỤNG
Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Thực hiện: 
Trần Minh Đạo
Phạm Kim Ngọc
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
I. Cấu tạo
II. Nguyên lý hoạt động
III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng:
a) Loại màng
b) Stylus tip và force tip
c) Parameters
d) Ưu và nhược điểm
CẤU TẠO
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
TÍN HIỆU AC
CHUYỂN ĐỔI A/D 
MẪU
ĐẾ MÁY TÍNH
LVDT
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL 
TRANSFORMER
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
SS
S
S
P P
S
S
S
S
PP
S
S
S
S
PP
S
S
S
S
PP
S
S
S
S
PP
A
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
tAmplitude modulator
Chỉnh lưulọc
V(t)
x(t)
t
Sóng 
mang
Tín hiệu ra
Cùng tần số
Lớn hơn 10 
lần
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan length
 30µm to 30 mm 
 Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu
 100µm - 500µm thực tế???
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan speed
 Khoảng cách quét - lực quét
 Duration: 3 - 200sec
 Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec)
 Data Points/Scan = Scan length(µm) / 
Horizontal Resolution (µm)
 Low speed ( + low force + noise) ?
 High speed ?? 
(5 - 10µm/sec) ideal?
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus force
 1mg – 15mg (< 1mg)
 Loại màng, pp chế tạo?
 Low force  ? High force ?
 Stylus tip?
stylus
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus tip
 Diamond tip
 R= 0.2 25µm (12.5µm)
 Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) + 
vận tốc quét
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Parameters
 Maximum sample thickness 31.75 mm 
 Vertical range 262 micron. 
 X-Y stage translation 20 mm x 80 mm 
 vertical data resolution 1 A at 65kA range 
 Z-height capability 1 mm ??
 Color video camera with manual zoom optics 
70-280X 
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Roughness
 Maxdev (Maximum Deviation)
 MaxRa (Maximum Ra)
 Ra (Average Roughness)
 Rp(Maximum Peak)
 Rq (RMS)
 Rt (Maximum peak to valley)
 Rv (Maximum valley)
 Rz_din (Ten points height average)
 Skew (skewness)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Waviness
 Wa (Arithmetic average of waviness)
 Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)
 Wp (maximum peak of waviness)
 Wq (Root – Mean – Square of Waviness)
 Wt (Maximum peak to valley of waviness)
 Wv (Maximum vallley of waviness)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Height
 ASH (Delta Average step height)
 Avg Ht (Average Height)
 HSC (High spot count)
 Pc (peak count)
 Peak (Maximum peak)
 P_V (Maximum peak to valley)
 TIR (Total Indicated reading)
 Valley (maximum valley)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Geometry
 Area (Area under the curve)
 Perim (Perimeter)
 Radius 
 Slop
 Sm (Mean spacing between peaks)
 Tp (Bearing ratio)
 Volume 
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ưu và nhược điểm